超純水又稱UP水，是指電阻率符合18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，基本沒有什么雜質，也沒有細菌等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是基本去除氧和氫以外原子的水。可以用于半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它技術的制備過程。

       這樣的水是一般工藝很難符合的程度，理論上可以采用二類反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量不好保障。
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